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分类号 描述
B 作业;运输
B81 微观结构技术〔7〕
B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备(制造微胶囊或微球入B01J13/02;专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22)〔7〕
B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统(B81C3/00优先)〔7〕
B81C3/00 从单独处理过的部件组装装置或系统〔7〕
B81C5/00 (转入B81C99/00)
B81C99/00 本小类其他各组中不包括的技术主题〔2010.01〕